製品はウエハの硬焼き、軟焼きを広く応用しており、LCD、CMOS、IS、医薬、実験室、宇宙航空など多くの工業分野の予熱、老化、ベーキング、熱硬化、焼入れ応力除去などの技術。

クリーンオーブン モデル：980 A/B級

製品の特徴：

この設備は新型の工業級クリーン乾燥設備であり、独特の内外チャンバー別構造を採用して内循環風路設計を結合し、耐高温超高効率フィルタH.E.P.Aを通じて内部を絶えず自己浄化濾過し、それによって高潔で均一な温度の密閉された高温熱風焼成環境を形成する。

製品用途：

製品はウエハの硬焼き、軟焼きを広く応用しており、LCD、CMOS、IS、医薬、実験室、宇宙航空など多くの工業分野の予熱、老化、ベーキング、熱硬化、焼入れ応力除去などの技術。

構造特徴：

シェル:外部採用1.2 mm厚の高品質冷間圧延鋼板は防錆処理後に射出成形され、ステンレス鋼の材質を選択することもできる。

内胆：採用SUS304鏡面ステンレス鋼厚1.2-1.5 mm厚さの鏡面ステンレス板、円弧を使用R角フル溶接処理、整理しやすく、アルカリ性ソーダ水で洗浄し、油汚れを除去してベーキング時の発生を避ける 粒子1

被覆：高級保温綿を採用し、6面保温断熱、保温厚さは80mm-150mm，保温性に優れている。

キャリアスタック：物の大きさに応じて層間隔を調節でき、空間利用率が高い。

制御システム：

★コントロールパネル：採用PID自動演算、7インチタッチ画面表示、温度、時間、カーブ、プログラマブルセグメント設定とうパラメータ

アラーム機能：センサー断線警報機能付き、超温警報保護機能付き、製品の運行安全を確保する

★加熱チューブ:加熱管は設備の背面にある（加熱管に液体が滴下して爆発現象を引き起こすことを効果的に回避できる）

ダクト構造：

ダクト構造：ダクト採用背中は風を吸って、上下と両側の四面は風を吹きますタンク内の温度均一性を確保する，採用高密度パンチング風板。

送風装置：高出力三相非同期耐高温型長軸静音モータを採用+大口径ステンレス鋼タービン羽根、タービンは水平補正処理を経て、輸送風の安定を確保する。

送風装置安全保護システム：超温過負荷過電流保護機能を持ち、モータ及びファンの寿命と安全性能を確保する。

電気加熱システム：カバー式ステンレスクリーン化電熱発生器を採用し、クリーンで塵を発生しない。

クリーンサイクルシステム：

平面水平後面送風後、耐高温高効率フィルタH.E.P.A装置を経て上下及び両側四面（特殊風路設計）方向送風、0.3 um直径PARTICLE、ろ過効率99.97%、箱内清浄度はClass 100に達することができる。

排気口：（自動開閉ダンパ付き）、強い循環効果を達成して温度を下げる。

差圧計：輸入差圧計で、リアルタイムにH.E.P.Aの動作状態を監視することができる。

全自動スイッチを搭載列風門、ベーキング過程の風門はしっかりと閉じて、内部の対外閉鎖を確保して、外部の排風を防止するPARTICLE回塵汚染

セキュリティ機能：

超温保護システムを採用し、箱体の運転中の全体的な安全性能を確保する。

箱体内電気製品保護システム（箱体内電気製品の運行が安定し、安全で信頼性があることを確保する）：

超温防止器（独立温度制限、超温停電）、

相順保護（アンダ圧損相保護）、

モータ過電流保護、

制御回路ヒューズ、

電熱過電流保護、

ヒューズレススイッチ。

パラメータの紹介：